在真空泵第一道法蘭前吸入氣體的溫度為238℃。第一道法蘭到機器的轉子間距不超過400mm，而氣體的流速又很快，時間極短，要將工藝氣從238℃降到4.8℃，達到真空泵入口溫度的要求，工藝設計是在泵的入口法蘭加上一個1寸管噴頭，注入乙苯，達到降溫目的。乙苯注入量由管路上的控制閥來調節(jié)。這樣存在兩個問題:一是注入點設計不合理，造成降溫時間短，泵的吸入溫度難以保證;二是控制閥一旦出現(xiàn)故障，就會造成設備工作溫度全面升高，結果泵發(fā)生故障。
另外在真空泵損毀前，轉子與轉子和轉子與殼體的接觸相磨經歷過較長的時間。期間有溫度異常、聲音異常和振動加大的現(xiàn)象發(fā)生，若巡檢人員注意，也可避免事故的發(fā)生。
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