真空泵在工業(yè)部門中應(yīng)用相當(dāng)廣泛，如燈泡制造、電子管、食品包裝、半導(dǎo)體器件的制造。真空蒸餾、真空浸漬、離子氮化、真空干燥、真空滲碳，真空淬火、真空澆鑄等。在真空條件下由于氣體分子數(shù)較少，可以避免氣體產(chǎn)生的有害作用。如在真空中熱處理可以避免氧化和氣體滲入金相組織，從而提高零件質(zhì)量;在電子器件中保持高真空可以避免電子運動受到影響；在真空包裝中保持高真空可以提高食品保質(zhì)期。在現(xiàn)代尖端科學(xué)技術(shù)中，真空技術(shù)更是不可缺少的手段，如高能加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)，宇宙模擬等工程都需要高真空或超高真空技術(shù)。
真空泵的種類很多，有機械真空泵(如往復(fù)式真空泵、油封式機械真空泵、羅茨真空泵、渦輪分子泵、水環(huán)式真空泵等)，噴射真空泵(如水蒸汽噴射泵、水噴射泵、大氣噴射泵、油增壓泵、油擴散泵等)，還有物理化學(xué)吸附泵(如鈦泵、分子篩吸附泵、低溫泵等).在機械工業(yè)部門中主要采用機械真空泵，其他類型的泵則較少采用。
